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Capacitance to Voltage Converter for Capacitance MEMS Accelerometer: A Review

电容 微电子机械系统 加速度计 电气工程 电压 材料科学 电容器 电容感应 微分电容 电子工程 寄生电容 光电子学 工程类 计算机科学 物理 电极 操作系统 量子力学
作者
Quanzhen Duan,Zhizhong Jin,Xiaodong Shen,Jianming Xu,Yuemin Ding
出处
期刊:IEEE Transactions on Consumer Electronics [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1 被引量:1
标识
DOI:10.1109/tce.2025.3581159
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