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Characterization and ohmic contact properties of indium tin-oxide films prepared on p-type GaN using electron-cyclotron-resonance plasma-sputter deposition

电子回旋共振欧姆接触铟溅射氧化铟锡材料科学分析化学（期刊）沉积（地质）锡化学薄膜等离子体光电子学冶金纳米技术图层（电子）物理古生物学量子力学色谱法沉积物生物

作者

Hironori Torii,Shinsuke Matsui

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2024-08-01 卷期号：803: 140464-140464 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2024.140464

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