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Characterization and ohmic contact properties of indium tin-oxide films prepared on p-type GaN using electron-cyclotron-resonance plasma-sputter deposition

电子回旋共振 欧姆接触 铟 溅射 氧化铟锡 材料科学 分析化学(期刊) 沉积(地质) 锡 化学 薄膜 等离子体 光电子学 冶金 纳米技术 图层(电子) 物理 古生物学 量子力学 色谱法 沉积物 生物
作者
Hironori Torii,Shinsuke Matsui
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:803: 140464-140464 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2024.140464

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