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Balancing sensitivity and resolution by feedback regulation of free radicals from Sn-C bonds in tin-oxygen clusters EBL photoresist

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作者
Hao Chen,Xinyan Huang,Yingdong Zhao,Jun Zhao,Pengzhong Chen,Xiaojun Peng
出处
期刊:Science China. Materials [Springer Science+Business Media]
卷期号:67 (10): 3142-3150 被引量:11
标识
DOI:10.1007/s40843-024-3062-y
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