Research on the fabrication and anti-reflection performance of diamond-like carbon films

材料科学 等离子体增强化学气相沉积 太阳能电池 硅 晶体硅 基质(水族馆) 碳膜 化学气相沉积 光电子学 类金刚石碳 透射率 薄膜 纳米技术 海洋学 地质学
作者
Qinru Yang,Song He,Ruiming Huang,Yu Meng,Chen Cao,Songsheng Zheng,Daqin Yun,Lingling Zheng,Qijin Cheng
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:111: 108184-108184 被引量:23
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2020.108184
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