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Piezoelectric micropumps: state of the art review

微型泵 压电 执行机构 微电子机械系统 机械工程 领域（数学） 建模与仿真 计算机科学 系统工程 工程类 材料科学 纳米技术 电气工程 数学 纯数学
作者
Hamid Asadi Dereshgi,Hüseyin DAL,Mustafa Zahid Yıldız
出处
期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2021-01-13 卷期号：27 (12): 4127-4155 被引量：59
标识
DOI：10.1007/s00542-020-05190-0
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