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Effect of photocatalysts on electrochemical properties and chemical mechanical polishing rate of GaN

抛光化学机械平面化材料科学光催化催化作用电化学泥浆化学工程薄脆饼复合材料纳米技术化学电极物理化学有机化学工程类

作者

Xuan Yu,Baoguo Zhang,Ru Wang,Zhengxiao Kao,Shenghua Yang,Wei Wei

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2020-08-20 卷期号：121: 105387-105387 被引量：37

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2020.105387

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