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Atomic layer deposition of molybdenum carbide and substrate-dependent reduction to metallic molybdenum
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作者
Kwangyong An,
Kieran G. Lawford,
Bonwook Gu,
Aravind H. Patil,
Aaron D. Rogers,
Seán T. Barry,
Han-Bo-Ram Lee
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2026-01-01
标识
DOI：10.1039/d6tc00454g
摘要
Development of a novel molybdenum carbide ALD process and subsequent formation of high-quality metallic molybdenum films via substrate dependent decarburization.
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