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Sensor application of SiON integrated optical waveguides on silicon
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作者
K. Fischer,
Jörg Müller
出处
期刊：
Sensors and Actuators B-chemical
[Elsevier BV]
日期：1992-10-01
卷期号：9 (3): 209-213
被引量：18
标识
DOI：10.1016/0925-4005(92)80218-m
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