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A method and apparatus for surface modification by gas-cluster ion impact
作者
J. A. Northby,
T. Jiang,
Gikan H. Takaoka,
Isao Yamada,
W. L. Brown,
Marek Sosnowski
出处
期刊：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
[Elsevier BV]
日期：1993-04-01
卷期号：74 (1-2): 336-340
被引量：23
标识
DOI：10.1016/0168-583x(93)95072-d
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