锡
腔磁控管
材料科学
冶金
纳米技术
薄膜
溅射
作者
A. A. Lozovan,S. Ya. Betsofen,Yu. S. Pavlov,И. А. Грушин,E. P. Kubatina
出处
期刊:Russian Metallurgy
[Pleiades Publishing]
日期:2021-09-01
卷期号:2021 (9): 1121-1127
被引量:1
标识
DOI:10.1134/s0036029521090093
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI