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Preparation and characterization of molybdenum disulfide films obtained by one-step atomic layer deposition method

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作者

Yazhou Huang,Lei Liu,Weiwei Zhao,Yunfei Chen

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2017-01-10 卷期号：624: 101-105 被引量：32

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2017.01.015

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