制作
化学气相沉积
材料科学
膜
微晶
钻石
聚晶金刚石
纳米技术
微波食品加热
可扩展性
光电子学
热的
热导率
沉积(地质)
等离子体增强化学气相沉积
化学工程
热稳定性
金刚石材料性能
作者
Xiaoyu Yang,Haonan Li,Zhongqiang Wang,Yang He,薛生杰,梁智文,Liangwei Lin,Tao Wang,Ding Wang,Ping Wang,Huarui Sun,Qi Wang,Xinqiang Wang
摘要
Scalable fabrication protocol produces 12-inch polycrystalline diamond membranes via microwave plasma chemical vapor deposition for advanced thermal management.
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