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A high-quality bimorph Sc-doped AlN deposition and characterisation process

双晶片 沉积（地质） 材料科学 兴奋剂 质量（理念） 过程（计算） 工程物理 光电子学 计算机科学 复合材料 工程类 地质学 物理 操作系统 压电 古生物学 量子力学 沉积物
作者
Jia‐Qi Huang,Peng Ding,Hongfeng Zhao,Xingwang Zhu,Yichen Liu,Lihao Wang,Yongquan Su,Zhenyu Wu
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：2025-08-01 卷期号：: 116996-116996
标识
DOI：10.1016/j.sna.2025.116996
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