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Unraveling the adhesion characteristics of ruthenium as an advanced metal interconnect material using machine learning potential
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作者
Eunseog Cho,
Won‐Joon Son,
Seungmin Lee,
Hyeon-Seok Do,
Kyoungmin Min,
Dae Sin Kim
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：13 (15): 7772-7784
被引量：1
标识
DOI：10.1039/d4tc04870a
摘要
This study combines machine learning potential and steered molecular dynamics to provide atomic-level understanding of the adhesion properties of Ru/SiO 2 interfaces.
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