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Patterning optimization for single exposure BLP and SNLP DRAM layers with 0.33NA and 0.55NA EUV lithography

极紫外光刻 德拉姆 平版印刷术 多重图案 材料科学 光电子学 光刻 抵抗 计算机科学 纳米技术 图层（电子）
作者
Van Tuong Pham,Víctor M. Blanco Carballo,Jeong-Hoon Lee,Werner Gillijns,Soobin Hwang,Ardavan Niroomand,Sara Paolillo,Annaëlle Demaude,Wonchan Lee,Yannick Feurprier,Kathleen Nafus,Nobuyuki Fukui,Bae Nayoung,Yuhei Kuwahara,Ph. Deschepper,Dhruv Tyagi,Philippe Foubert,Vito Rutigliani,Mahtab Sangghaleh,Sandip Halder
标识
DOI：10.1117/12.3051494
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