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Scalable Fabrication of Large‐Scale, 3D, and Stretchable Circuits

可伸缩电子设备 材料科学 制作 数码产品 电子线路 保形涂层 纳米技术 中间层 光电子学 柔性电子器件 图层(电子) 电气工程 涂层 医学 替代医学 病理 工程类 蚀刻(微加工)
作者
Dengji Guo,Taisong Pan,Fan Li,Wei Wang,Xiang Jia,Taiqi Hu,Zhijian Wang,Gao Min,Guang Yao,Zhenlong Huang,Zujun Peng,Yuan Lin
出处
期刊:Advanced Materials [Wiley]
被引量:7
标识
DOI:10.1002/adma.202402221
摘要

Stretchable electronics have demonstrated excellent potential in wearable healthcare and conformal integration. Achieving the scalable fabrication of stretchable devices with high functional density is the cornerstone to enable the practical applications of stretchable electronics. Here, a comprehensive methodology for realizing large-scale, 3D, and stretchable circuits (3D-LSC) is reported. The soft copper-clad laminate (S-CCL) based on the "cast and cure" process facilitates patterning the planar interconnects with the scale beyond 1 m. With the ability to form through, buried and blind VIAs in the multilayer stack of S-CCLs, high functional density can be achieved by further creating vertical interconnects in stacked S-CCLs. The application of temporary bonding substrate effectively minimizes the misalignments caused by residual strain and thermal strain. 3D-LSC enables the batch production of stretchable skin patches based on five-layer stretchable circuits, which can serve as a miniaturized system for physiological signals monitoring with wireless power delivery. The fabrications of conformal antenna and stretchable light-emitting diode display further illustrate the potential of 3D-LSC in realizing large-scale stretchable devices.
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