Heat-assisted μ-electrical discharge machining of silicon

机械加工 材料科学 薄脆饼 表面粗糙度 电火花加工 陶瓷 复合材料 表面光洁度 冶金 光电子学
作者
Noor Dzulaikha Daud,Farah Afiqa Mohd Ghazali,Fatimah Khairiah Abd Hamid,Marwan Nafea,Tanveer Saleh,Pei Ling Leow,Mohamed Sultan Mohamed Ali
出处
期刊:The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Science+Business Media]
卷期号:113 (5-6): 1727-1738 被引量:3
标识
DOI:10.1007/s00170-021-06734-y

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