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Si nanowire-based micro-capacitors fabricated with metal assisted chemical etching for integrated energy storage applications

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作者

Emmanouel Hourdakis,Ioannis Kochylas,Martha A. Botzakaki,N. Xanthopoulos,S. Gardelis

出处

期刊：Solid-state Electronics [Elsevier BV]
日期：2022-07-05 卷期号：196: 108408-108408 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.sse.2022.108408

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