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作者
H. Kawakami,
Masahiro Ueda,
Hideki Aoyama,
Kazuo Yamazaki
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2021-10-28
卷期号：74: 426-440
被引量：8
链接
sciencedirect.com
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2021.10.017
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