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Structural and Corrosive Properties of ZrO2Thin Films using N2O as a Reactive Gas by RF Reactive Magnetron Sputtering

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作者
Seung-Hyun Jee,Seok‐Hee Lee,Jonghyuk Baek,Jun‐Hwan Kim,Young-Soo Yoon
出处
期刊：Journal of The Korean Ceramic Society [Springer Science+Business Media]
日期：2011-01-31 卷期号：48 (1): 69-73 被引量：1
链接
or.krdoi.org
标识
DOI：10.4191/kcers.2011.48.1.069
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