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Wet-Chemical Conditioning of Silicon Substrates for a-Si:H/c-Si Heterojunctions

材料科学异质结椭圆偏振法化学气相沉积钝化光致发光表面粗糙度硅氮化硅分析化学（期刊）无定形固体傅里叶变换红外光谱基质（水族馆）化学工程光电子学纳米技术薄膜化学复合材料图层（电子）结晶学海洋学色谱法地质学工程类

作者

H. Angermann,Jörg Rappich

出处

期刊：Engineering materials 日期：2011-11-15 卷期号：: 45-94 被引量：6

标识

DOI：10.1007/978-3-642-22275-7_3

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