高功率脉冲磁控溅射
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作者
Jones Alami,Per Eklund,Jon M. Andersson,Martina Lattemann,Erik Wallin,Johan Böhlmark,Per O. Å. Persson,Ulf Helmersson
出处
期刊:Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2006-11-17
卷期号:515 (7-8): 3434-3438
被引量:120
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2006.10.013
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