Wear properties, corrosion behaviors, and TEM structures of CrSiN/CrSi multilayer coatings on oxynitriding-treated Unimax tool steel using the direct current magnetron sputtering system

材料科学 腐蚀 溅射沉积 冶金 溅射 腔磁控管 直流电 电流(流体) 光电子学 复合材料 纳米技术 薄膜 电气工程 工程类 电压
作者
Kuo-Tsung Huang,Shih‐Hsien Chang,WU Min-zhe,Hao-Yu Wu,Hsin-Chih Lin
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:234: 114109-114109 被引量:6
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114109
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