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Device optimized simulation for Silicon-Based MEMS Piezoresistive Pressure Sensors

压阻效应 微电子机械系统 材料科学 压力传感器 光电子学 电子工程 计算机科学 电气工程 工程类 机械工程
作者
Junwei Guo,Siyuan Lv,Chen Zhang,Zheng Duanmu,Xiaofeng Gong,Caixin Wan,Chenglong Zhao
标识
DOI:10.1109/isstc63573.2024.10824070

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