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A distinctive material removal mode in chemical mechanical polishing besides chemical bonding and mechanical plowing: Shear slipping

滑倒 化学机械平面化 抛光 材料科学 复合材料 剪切（地质） 化学键 剪切力 纳米技术 结构工程 工程类 化学 有机化学
作者
Yushan Chen,Liuyue Xu,Yuan Wu,Liao Zhou,Yuting Wei,Zihan Zheng,Hui Li,Liang Jiang,Linmao Qian
出处
期刊：Friction [Springer Nature]
日期：2025-04-01
标识
DOI：10.26599/frict.2025.9441104
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