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The microstructure and mechanical properties of He charged Al films fabricated by HiPIMS/DCMS co-sputtering
高功率脉冲磁控溅射
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溅射沉积
薄膜
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作者
Yansong Liu,
Xing Ai,
Jinglin Huang,
Tao Wang,
Guo Chen,
Zhibing He
出处
期刊：
Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2023-11-02
卷期号：219: 112744-112744
被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112744
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