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Similarity searching for wafer bin maps by measuring shape, location, and size similarities of defect patterns

相似性（几何）箱子薄脆饼数据挖掘计算机科学模式识别（心理学）人工智能工程制图情报检索工程类材料科学算法纳米技术图像（数学）

作者

Min‐Su Kang,Jin-Su Shin,Dong‐Hee Lee

出处

期刊：Computers & Industrial Engineering [Elsevier BV]
日期：2024-08-14 卷期号：196: 110486-110486 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.cie.2024.110486

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