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In situ non-destructive tracking of complex defect evolution on 4H-SiC homoepitaxial surfaces: Formation mechanisms and dynamic behavior of morphological defects
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单晶
作者
Mengda Wang,
C. Tian,
Runsheng Zheng,
Yan Liu,
ZhenBang Liu,
Qingbo Li,
Y. X. Li,
Yongfu Li,
Fapeng Yu,
Hongyan Zhang,
Yanmin Zong,
Xian Zhao
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2026-01-16
卷期号：726: 165951-165951
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2026.165951
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