Femtosecond laser-induced microjet assisted one-step fabrication of through-silicon vias

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作者
Pei Chen,Senyu Tu,Rui Pan,Fei Qin
出处
期刊:Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
卷期号:342: 118918-118918 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.jmatprotec.2025.118918
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