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Exploring GAA-Nanosheet, Forksheet and GAA-Forksheet Architectures: a TCAD-DTCO Study at 90 nm & 120 nm Cell Height
纳米片
物理
光电子学
材料科学
纳米技术
作者
Gautam Gaddemane,
P. Schuddinck,
Krishna K. Bhuwalka,
G. Rzepa,
Gioele Mirabelli,
Anshul Gupta,
Juergen Boemmels,
Philippe Matagne,
Dmitry Yakimets,
Hao Wu,
Hou Lei,
Geert Hellings,
Changze Liu
出处
期刊:
IEEE Journal of the Electron Devices Society
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期:2024-01-01
卷期号:: 1-1
链接
doi.org
doi.org
标识
DOI:10.1109/jeds.2024.3498092
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