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作者
Pengfei Zhang,
Chao Wang,
Zhenzhi Ying,
N. Sugita
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2026-01-29
卷期号：99: 440-452
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2026.01.031
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