SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
清晨好，您是今天最早来到科研通的研友！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您科研之路漫漫前行！
Advances on the application of ceria nanoparticles in dielectric layer CMP and post-cleaning: structural control, modification strategies, and mechanistic studies
材料科学
化学机械平面化
Zeta电位
纳米技术
磨料
吸附
表面粗糙度
纳米颗粒
表面改性
抛光
电介质
色散（光学）
介孔材料
介孔二氧化硅
粒子（生态学）
化学工程
表面光洁度
粒径
烧结
过程（计算）
半导体
图层（电子）
半导体器件制造
复合材料
纳米复合材料
兴奋剂
弹性（物理）
金属
比表面积
作者
Wenyue Qi,
Jiaji Geng,
Baimei Tan,
Fangyuan Wang,
Xinyu Zhao,
Jiadong Zhao
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2026-05-05
卷期号：212: 110767-110767
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2026.110767
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
rockyshi
完成签到
，获得积分
10
8秒前
忧心的藏鸟
完成签到
，获得积分
10
11秒前
arniu2008
上传了
应助文件
22秒前
jlwang
完成签到，获得积分
10
22秒前
沙莎
完成签到
，获得积分
10
24秒前
nie
完成签到
，获得积分
10
30秒前
成就小蜜蜂
完成签到
，获得积分
10
37秒前
arniu2008
上传了
应助文件
48秒前
粒子
完成签到，获得积分
20
49秒前
鸡鸡大魔王
完成签到，获得积分
10
1分钟前
arniu2008
上传了
应助文件
1分钟前
打打
上传了
应助文件
1分钟前
灵巧的朝雪
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
陈灏
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
陈灏
完成签到
，获得积分
20
1分钟前
arniu2008
上传了
应助文件
2分钟前
CCccc
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
arniu2008
上传了
应助文件
2分钟前
爆米花
的
应助
被
xiaoju
采纳，获得
10
2分钟前
烟花
上传了
应助文件
2分钟前
nini
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
修辛
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
Qi
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
爆米花
上传了
应助文件
2分钟前
xiaoju
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
arniu2008
上传了
应助文件
2分钟前
qin
完成签到
，获得积分
10
3分钟前
123
完成签到
，获得积分
10
3分钟前
arniu2008
上传了
应助文件
3分钟前
qiandi
完成签到
，获得积分
10
3分钟前
小二郎
上传了
应助文件
3分钟前
粒子
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
chloe
完成签到，获得积分
10
3分钟前
凌泉
完成签到
，获得积分
10
3分钟前
Dan_Young
完成签到，获得积分
10
3分钟前
天宝
完成签到，获得积分
10
4分钟前
arniu2008
的
应助
被
随风
采纳，获得
20
4分钟前
科研通管家
关闭了
xiaoming
的
文献求助
4分钟前
史前巨怪
完成签到
，获得积分
0
4分钟前
沙海沉戈
完成签到，获得积分
0
4分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
2026年中国辛酸癸酸聚乙二醇甘油酯行业市场规模及竞争格局分析报告
1000
48V Low-voltage Power Distribution Network (PDN) Architecture Industry Report, 2024
800
Fundamentals of Pharmaceutical and Biologics Regulations: A Global Perspective, Second Edition
700
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
610
适配Micro-LED色转换的高兼容性量子点负性光刻胶制备与工艺研究
500
Direct and Iterative Linear System Solvers
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7312134
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8928777
关于积分的说明
18923501
捐赠科研通
6973058
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3213403
关于科研通互助平台的介绍
2381597
邀请新用户注册赠送积分活动
2191502
今日热心研友
Kao
178
590
不潮薯饼
35
170
Criminology34
29
80
arniu2008
27
100
GingerF
12
230
Samuel
9
240
OK
330
MchemG
6
250
学术文献互助
1
200
嘻嘻哈哈
15
40
LB
190
wwwwyx
15
竹青
14
Nole
120
小荷才露尖尖角
100
lcc
90
斯文的初蝶
8
cdercder
80
sanvva
80
yjh123
2
60
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
不潮薯饼
Criminology34
arniu2008
GingerF
Samuel
OK
MchemG
学术文献互助
嘻嘻哈哈
LB
wwwwyx
竹青
Nole
小荷才露尖尖角
lcc
斯文的初蝶
cdercder
sanvva
yjh123
皖公网安备34019202002308
