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Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition of TaN Film and Its Resistance to Copper Diffusion

材料科学 铜 图层（电子） 扩散 原子层沉积 等离子体 沉积（地质） 扩散阻挡层 化学工程 冶金 复合材料 热力学 工程类 物理 古生物学 生物 量子力学 沉积物
作者
Yongping Wang,Zi-Jun Ding,Bao Zhu,Wenjun Liu,Shi‐Jin Ding
出处
期刊：Chinese Journal of Materials Research [Acta Metallurgica Sinica]
日期：2019-02-27 卷期号：33 (1): 9-14
链接
cjmr.orgdoi.org
标识
DOI：10.11901/1005.3093.2017.799
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