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Atomistic-to-reactor digital twin for silicon nitride atomic layer deposition via bidirectional kinetic Monte Carlo-computational fluid dynamics coupling
作者
Chaeeun Lee,
Woojin Kang,
Seongho Park,
Won Bo Lee,
Jonggeol Na
出处
期刊：
Chemical Engineering Journal
[Elsevier BV]
日期：2026-06-03
卷期号：545: 177940-177940
标识
DOI：10.1016/j.cej.2026.177940
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