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制作
化学气相沉积
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作者
Xin Zhao,
Zihao Zhao,
Hongyun Fan,
Jiaxin Hou,
Mian Zhong,
Yong Jiang,
Lei Yang,
Jinlin Luo
出处
期刊:
Journal of Materials Science
[Springer Science+Business Media]
日期:2026-01-18
标识
DOI:10.1007/s10853-025-11994-0
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