A near-infrared colloidal quantum dot imager with monolithically integrated readout circuitry

光电子学 光电探测器 光电二极管 材料科学 量子点 动态范围 红外线的 集成电路 半导体 光学 物理
作者
Jing Liu,Peilin Liu,Dengyang Chen,Tailong Shi,Xixi Qu,Long Chen,Tong Wu,Jiangping Ke,Kao Xiong,Mingyu Li,Haisheng Song,Wei Wei,Junkai Cao,Jianbing Zhang,Liang Gao,Jiang Tang
出处
期刊:Nature electronics [Springer Nature]
卷期号:5 (7): 443-451 被引量:261
标识
DOI:10.1038/s41928-022-00779-x
摘要

Imagers that operate in the near-infrared region (wavelengths of 0.7–1.4 µm) are of use in applications such as material sorting, machine vision and autonomous driving. However, such imagers typically use the flip-chip method to connect infrared photodiodes with silicon-based readout integrated circuits, as the need for high-temperature processing and single-crystalline substrates prevents direct integration. This increases processing complexity and cost. Here we report high-resolution imagers that monolithically integrate near-infrared colloidal quantum dot photodiodes with complementary metal–oxide–semiconductor readout integrated circuits. The colloidal quantum dot photodetector is designed with a structure compatible with complementary metal–oxide–semiconductors and exhibits a spectral range of 400–1,300 nm, room-temperature detectivity of 2.1 × 1012 Jones, −3 dB bandwidth of 140 kHz and linear dynamic range of over 100 dB. With this approach, we create a large (640 × 512 pixels) imager that exhibits a spatial resolution of 40 line pairs per millimetre at a modulation transfer function of 50%, and we show that it can be used for vein imaging and matter identification.
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