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Spatial phase-locked combination lithography for photonic crystal devices
作者
C MOORMANN
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2004-05-26
卷期号：73-74: 417-422
被引量：17
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(04)00148-0
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