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Control of preferential orientation of AlN films prepared by the reactive sputtering method

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作者
Masatou Ishihara,S.J Li,Hisami Yumoto,Kazuo Akashi,Yukio Ide
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1998-03-01 卷期号：316 (1-2): 152-157 被引量：169
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(98)00406-4
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