执行机构
薄脆饼
流离失所(心理学)
刚度
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机制(生物学)
材料科学
压电
声学
硅
传输(电信)
运动控制
有限元法
顺应机制
光学
物理
纳米光刻
微电子机械系统
电压
直线运动
压电马达
线性执行器
运动(物理)
夹持器
固有频率
工作(物理)
精密工程
作者
Fujun Wang,Jian-Hua Dai,Beichao Shi,Cunman Liang,Yanling Tian
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2025.09.019
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