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作者
Bowen Zhong,
Zhan Liao,
Haiyan Hu,
ShiLin Liu,
Chaobin He,
Lining Sun
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2025-02-28
卷期号：94: 175-190
被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2025.02.018
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