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Study on the role of TiN oxidation states to the Hafnium Zirconium Oxide interface chemistry
作者
Xiang Zhao,
Yiyang Shan,
Yanwei Li,
Letao Qin,
Qi Zhong,
Feng Lu,
Weihua Wang,
Hui Liu,
Yahui Cheng,
Hong Dong
出处
期刊：
Surfaces and Interfaces
[Elsevier BV]
日期：2025-11-26
卷期号：78: 108169-108169
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2025.108169
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