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作者
Hui Zhuang,
Jianguo Ding,
Peng Chen,
Yu Chang
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2025-11-03
卷期号：97: 851-878
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2025.10.025
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