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Top-down micro and nano structuring of wide bandgap semiconductors for ultraviolet photodetection
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作者
Ramit Kumar Mondal,
You Jin Kim,
Yikai Liao,
Zhihua Zheng,
Jiangnan Dai,
Munho Kim
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：13 (7): 3145-3166
被引量：13
链接
rsc.org
doi.org
标识
DOI：10.1039/d4tc03230f
摘要
This review focuses on top-down dry and wet etching of III-nitrides, SiC, Ga 2 O 3 , and diamond to create micro/nanostructured UV photodetectors, enabling enhanced light trapping and improved device performance.
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