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SiC Thin Films: Nanosecond Pulsed Laser-Deposition via Digital Twin Approach and Atom Probe Tomography Characterizations

原子探针 纳秒 脉冲激光沉积 薄膜 材料科学 沉积（地质） Atom（片上系统） 激光器 光电子学 光学 纳米技术 物理 计算机科学 地质学 透射电子显微镜 嵌入式系统 古生物学 沉积物
作者
H. G. Prashantha Kumar,Sree Harsha Choutapalli,Nilesh J. Vasa,Tiju Thomas,Srinivasa Rao Bakshi
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2025-02-01 卷期号：: 140620-140620 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2025.140620
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