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Research on the Fixed-Abrasive Lapping Process of Polycrystalline Aluminum Nitride

材料科学 研磨 磨料 微晶 铝 氮化物 冶金 复合材料 图层（电子）
作者
Zhu Nannan,Xue Li,Wu Pengfei,Fengli Niu,Feng Wei,Zhu Yongwei
出处
期刊：Ferroelectrics [Taylor & Francis]
日期：2024-10-02 卷期号：618 (13-14): 2219-2227 被引量：1
标识
DOI：10.1080/00150193.2024.2324698
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