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Gas barrier properties of SiON films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition at low temperature as a function of the plasma process parameters

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作者

Su B. Jin,Joon S. Lee,Yoon Seok Choi,In Suk Choi,Jeon G. Han

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2012-05-12 卷期号：228: S490-S494 被引量：13

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2012.05.009

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