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Fabrication of Fresnel zone plates with high aspect ratio by soft X-ray lithography
作者
Longhua Liu,
Gang Liu,
Ying Xiong,
Jie Chen,
Chun-Lei Kang,
Xinlong Huang,
Yangchao Tian
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Science+Business Media]
日期：2008-01-22
卷期号：14 (9-11): 1251-1255
被引量：9
标识
DOI：10.1007/s00542-007-0542-7
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