Atom probe tomography quantification of carbon in silicon

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作者
Paul Dumas,S. Duguay,J. Borrel,Fanny Hilario,D. Blavette
出处
期刊:Ultramicroscopy [Elsevier BV]
卷期号:220: 113153-113153 被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.ultramic.2020.113153
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