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Dielectric properties investigation of a compound based on atomic layer deposited multi-layer structure

电介质材料科学原子层沉积电容器高-κ电介质钽氧化物等效氧化层厚度图层（电子）金属分析化学（期刊）光电子学复合材料栅氧化层冶金化学电气工程晶体管工程类色谱法电压

作者

A. M. Mumlyakov,М.В. Шибалов,I. V. Trofimov,Maksim G. Verkholetov,А. П. Орлов,G. D. Diudbin,Stanislav A. Evlashin,P.A. Nekludova,Yu. V. Anufriev,A. M. Tagachenkov,Е.В. Зенова,M. A. Tarkhov

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2020-11-22 卷期号：858: 157713-157713 被引量：6

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2020.157713

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