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Effect of substrate temperature on properties of AlN buffer layer grown by remote plasma ALD

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作者
Xiaoying Zhang,Duan-Chen Peng,Jing Han,Fang-Bin Ren,Shi-Cong Jiang,Ming-Chun Tseng,Yu-Jiao Ruan,Juan Zuo,Wan-Yu Wu,Dong‐Sing Wuu,Chien-Jung Huang,Shui‐Yang Lien,Wen-Zhang Zhu
出处
期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
日期：2022-12-16 卷期号：36: 102589-102589 被引量：13
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2022.102589
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